Китайские компании импортировали около 343 иммерсионных DUV-литографов ASML

К первому кварталу 2026 года китайские предприятия импортировали около 343 иммерсионных DUV-систем ASML, оценил американский аналитический центр Center for Technology & Statecraft. Примерно 270 из них относятся к модели NXT:1980i, которую можно использовать при выпуске 7-нм логических чипов и памяти HBM2e.

Принадлежащие китайским компаниям предприятия с 2012 года по первый квартал 2026 года импортировали около 343 иммерсионных систем глубокой ультрафиолетовой литографии (DUVi) производства ASML. Такая оценка содержится в докладе Center for Technology & Statecraft — американского аналитического центра, изучающего влияние технологий на государственную политику.

Около 270 установок приходится на ASML TWINSCAN NXT:1980i. Эти системы позволяют применять многократное экспонирование при производстве 7-нм логических кристаллов и памяти HBM2e с высокой пропускной способностью, используемой в том числе в ИИ-ускорителях Huawei Ascend.

Приведённые числа являются модельной оценкой совокупного импорта, а не подтверждённым количеством работающих установок: авторы не учитывали возможный вывод оборудования из эксплуатации или его последующий реэкспорт. Наличия литографов также недостаточно для массового выпуска чипов — требуются оборудование для остальных технологических операций и приемлемый выход годных кристаллов.

По оценке центра, в 2024–2025 годах Китай импортировал примерно по 90 систем NXT:1980i ежегодно и потратил на них более $13 млрд. Действующие ограничения запрещают поставки EUV-литографов, использующих экстремальный ультрафиолет, но для части иммерсионных DUV-моделей сохраняется возможность выдачи экспортных лицензий.

Авторы доклада предлагают полностью запретить поставки иммерсионных DUV-систем в Китай, ограничить их обслуживание на предприятиях с передовыми техпроцессами и усилить контроль за запасными частями. Более старые «сухие» DUV-установки, предназначенные для зрелых техпроцессов, предлагается не включать в запрет.